1. Krajnji stepen vakuuma komore za nagrizanje: Manji ili jednak 9.0×10-5Pa;
2. Materijali za jetkanje: silicijum, kvarc, spojevi III.-V, keramika i razni metali, nemetalni tvrdi filmovi, itd.;
3. Brzina jetkanja: veća ili jednaka 10 nm ~ 200 nm / min (u zavisnosti od specifičnog materijala za jetkanje i procesa);
4. Izvor jona: kružni DC jonski izvor Φ150mm prečnika;
5. Opseg energije Ar+ jona: 100~1000 eV;
6. Gustina jonskog snopa: 0~1 mA/cm2.